無塵車間凈化等級劃分是依據什么？

作者：潔凈室　來源：無錫易純凈化　日期：2018/11/9 15:07:30　人氣：304

無塵車間凈化等級劃分是依據什么？

凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級，現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了，分為ABCD級別，分別相對應于98版的幾個級別，通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別，各個級別有不同的要求，凈化等級分靜態、動態兩種。

(一)潔凈室之等級　　

       世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。　

       209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 潔凈網z:Wg1pj 　　美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

(二)潔凈室之定義　　

潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或潔凈室。　「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。　　潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。

(三)潔凈室控管之項目　

　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。　

　2. 能防止微塵粒子之產生。　

　3. 溫度和濕度之控制。　

　4. 壓力之調節。　

　5. 有害氣體之排除。　

　6. 結構物與隔間之氣密性。　

　7. 靜電之防制。　　

    8. 電磁干擾預防。　

　9. 安全因素之考慮。　

　10. 節能之考量。

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